機器消耗品市場

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商品情報

　　

カート

商品NO	1843	商品名	マグネトロンスパッタ装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	MSP-20UM	価格		商品問合せ
特徴	この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。様々な用途に対応出来るよう、雰囲気ガスの導入機構、ガス雰囲気圧力調整機能、電流調整機能を備えています。また、条件設定に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。不純物の混入を最小限にするバイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実し、別途オプションで回り込み性能を向上させる傾斜回転機構をご用意しております。					カタログ
仕様	電源：ＡＣ１００V（単相１００V１５A）１口　アース線付き３芯プラグ使用装置サイズ：幅３５０mmｘ奥行き４２０ｍｍｘ高さ３４７ｍｍ装置重量：１８Ｋｇロータリーポンプ：排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１）重量：１４．６ｋｇ試料室サイズ：内径１４９ｍｍｘ高さ８２ｍｍ（硬質ガラス）電極―試料ステージ間隔：４０ｍｍ試料ステージサイズ： Φ５０ｍｍ（フローティング方式）※オプション傾斜回転使用時傾斜角度：０~４５°　回転速度：６０ｒｐｍ搭載可能試料サイズ：標準：≦Φ５０ｍｍ、高さ≦２０ｍｍ　※オプション傾斜回転使用時傾斜時：≦Φ２０ｍｍ、高さ≦２０ｍｍスパッタターゲット金属仕様： Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ（Ａｇのみ０．５ｍｍ）Ｐｔ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ雰囲気ガス：Ａｉｒ（空気）又はＡｒ（アルゴン）
備考				管理NO

外観写真	※傾斜回転試料台装着時

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